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    多級爪式干式真空泵原理分析

    點擊:3701 日期:2016-01-21 選擇字號:
    多級爪式干式真空泵是上世紀末快速發展成熟的新型(變容積)真空泵,由于其如下突出優點:泵腔內無油、對被抽容器沒有油污染、并能直排大氣、單泵就能達到3 Pa等,在電子行業得到了非常廣泛的應用,替代了油封機械泵以及滑閥真空泵。由于其性能卓越而越來越廣泛的應用于航天、核工業、化工、制藥、環保等行業,并呈逐年上升的趨勢。其主要的結構型式有螺旋型和反爪式,其結構各有優勢,相比較而言反爪式比螺旋型優勢更明顯。但由于其結構限制,泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小,不能夠滿足化工和制藥等大抽速的需要。
         深圳市創艦科技發展有限公司結合以上兩種結構的優勢,推出螺旋反爪結構,達到更少材料、更低能耗、更好維護、更大抽速的效果,而且能適合化工、制藥、環保等領域的需要。
    1傳統經典爪式泵的工作原理
         (1)單級爪泵的工作原理:
         如圖1所示,在圖la位置A腔和進氣口4接通,隨著轉子對的同步反方向運動A腔容積變大,氣體就吸入泵內,B腔內的氣體也在轉子對的作用下得到了逐漸壓縮,我們稱為吸氣過程;圖1b位置A腔容積繼續變大,繼續吸氣,同時,B腔的容積在轉子對的同步反方向運動下逐漸變小,運動到和排氣口接通的位置氣體通過排氣口排到下一級,這個過程一直會持續到圖lc位置,吸氣和排氣同時進行,簡稱為吸排氣過程;在圖lc位置A腔達到了最大容積,吸氣結束和B腔的容積達到了最小,排氣結束。轉子擋住了進氣口和排氣口,起到了自動關閉的作用;在圖1d位置隨著轉子的運轉,B腔內沒有被排出去的氣體和A腔內被吸入的氣體混合到了一起,既不吸氣也不排氣,我們稱為過渡過程;
         不間斷重復以上3個過程,達到了連續不間斷抽真空的目的,由于泵腔內無需用水或油等介質,有如下的優勢:能抽各種化學氣體、特殊不銹鋼材料制做的爪泵還能抽腐蝕性氣體。在航天、制藥、化工、核工業等行業得到了廣泛的應用。
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